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催化燃燒設備公司表示脫附氣體流程為：當吸附床吸附飽和后，可啟動脫附風機對該吸附床脫附，脫附氣體首先經過催化床中的換熱器，然后進入催化床中的預熱器，在紅外熱器的作用下，使氣體溫度提高到300℃左右，再通過催化劑，有機物質在催化劑的作用下燃燒，被分解為CO2和H2O，同時放出大量的熱，氣體溫度進一部提高，該高溫氣體再次通過換熱器，與進來的冷風換熱，回收一部分熱量。
從換熱器出來的氣體分兩部分：一部分直接進入下級處理設備；另一部分進入吸附床對活性炭進行脫附。當脫附溫度過高時可啟動補冷風機進行補冷，使脫附氣體溫度穩定在一個合適的范圍內。
對于低濃度的有機廢氣，經過吸附和熱氣流解吸后，廢氣中的有機物被濃縮，再采用催化燃燒設備進行處理。進入催化燃燒器的氣流中有機物的濃度應控制在其爆炸極限下限的百分之25以下。因此，實際上進入吸附器的有機物濃度應該是遠低于其爆炸極限下限的百分之25。
經過催化燃燒后產生的高溫煙氣的余熱。在大多數情況下是用于吸附器的再生，降低設備的運行費用，也可以用于余熱鍋爐或引入生產工藝中。利用高溫煙氣的余熱對吸附器進行再生的方式有兩種：
催化燃燒設備公司表示一是通過冷風機在高溫煙氣中補充部分新鮮空氣，使煙氣溫度降到吸附劑再生所需要的溫度后直接引入吸附器進行吸附劑的再生。二是增加一個氣-氣換熱器，利用高溫煙氣加熱新鮮空氣至吸附劑再生所需要的溫度后引入吸附器進行吸附劑的再生。
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